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超高精度CNC影像测量机-363系列

ULTRA QV404 是实现了高测量精度E1XY(0.25+L/1000)μm 的高精度CNC 影像测量系统。 为了将直线度误差控制较小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。 通过FEM (有限要素法) 解析后的设计实现了本体的高刚性化。

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产品描述

规格:

 

  ULTRA QV 404
光学系统 PRO
测量范围 (X×Y×Z) 400×400×200mm
倍率装置  可编程电动转台1X-2X-6X
分辨力 0.01 μm
长度基准 线性编码器
影像装置 黑白CCD(1/2型)
测量精度(E1)*1  X.Y轴 (0.25+L/1000)μm
Z轴(全行程) (1.5+2L/1000)  μm  (测量范围:  200mm) 
Z轴(50mm行程)*2 (1.0+2L/1000) μm (测量范围: 10 - 60mm)
测量精度(E2)*1    XY平面  (0.5+2L/1000)μm 
照明装置  反射照明/ 透射照明/ 程控环形照明
工作台尺寸 493×551mm
工件最大重量 *3 40kg
主机外观尺寸 (W×D×H) 1172×1735×1910mm
主机重量 (  包括机器设置台 )  2150kg

*1 :根据本公司检查方法,L为任意两点间的尺寸(mm)。

*2 :工厂出货检查。

*3 :不包含极端的载重、集中载重。