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产品描述
规格：
| QV ACCEL808 | QV ACCEL1010 | QV ACCEL1212 | QV ACCEL1517 | |||||||
| 光学系统 | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | PRO | PRO3 | ||
| 测量范围(X×Y×Z) | 800×800×150mm | 1000×1000×150mm | 1250×1250×100mm | 1500×1750×100mm | ||||||
| 倍率装置 | 可编程电动转台X-2X-6X | |||||||||
| 分辨力 | 0.1μm | |||||||||
| 长度基准 | 线性编码器 | |||||||||
| 影像装置 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | 黑白CCD | 3CCD彩色 | ||
| 测量精度*1 | E1 | X, Y轴 | (1.5+3L/1000)μm | (2.2+3L/1000)μm | ||||||
| Z轴（画像） | (1.5+4L/1000)μm | (2.5+5L/1000)μm | ||||||||
| E2 | XY平面 | (2.5+4L/1000)μm | (3.5+4L/1000)μm | |||||||
| 重复精度*1 | 短尺寸 | X, Y轴 | 3σ = 0.2μm | |||||||
| 长尺寸 | 3σ = 0.7μm | 3σ = 1.5μm | ||||||||
| 自动跟踪聚焦 | 安装可选 | |||||||||
| 工作台玻璃尺寸 | 883×958mm | 1186×1186mm | 1440×1440mm | 1714×1968mm | ||||||
| 台面最大承重*2 | 10kg | 30kg | 30kg | 30kg | ||||||
| 尺寸 (W×D×H) | 1475×1860×1578mm | 1912×2141×1603mm | 2166×2370×1554mm | 2440×2898×1554mm | ||||||
| 重量(包括机器设置台) | 约 2050kg | 约 2950kg | 约 3600kg | 约 4500kg | ||||||
*1：根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸（mm)
*2：不包含极端的载重、集中载重。