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产品描述
规格：
| 型号 | MACH-3A 653 | |
| 测量范围 | X 轴 | 600mm |
| Y 轴 | 500mm | |
| Z 轴 | 280mm | |
| 测量速度 | 1 - 30mm/s (用于 TP7M) | |
| 最大驱动速度 | 各轴 8 - 700mm/s; 所有轴 1212mm/s | |
| 最大驱动加速度 | 各轴 6860mm/s2 ; 所有轴 11882mm/s2 | |
| 精度* | 19 - 21℃ | MPEE = 2.5+3.5L/1000μm |
| 5 - 40℃ | MPEE = 3.9+6.5L/1000μm |
* 使用TP7M(测针：Φ4×20mm)。L：测量长度(mm)。可确保精度的温度范围在5-40℃以外时，请与三丰公司联系。
MACH-3A 653可确保精度的温度环境
| 温度环境 | ||
| 可确保精 度的温度 环境 | 温度范围 | 5 - 40℃ |
| 温度变化 | 每小时2.0℃以内 | |
| 每24小时10.0℃以内 | ||
| 温度梯度 | 垂直1.0℃/m以下 | |
| 水平1.0℃/m以下 | ||
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