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超高精度CNC三坐标测量机

LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机,具有世界上高精度水平,对大部分可能产生误差的因素进行严格分析并较大程度地降低其影响。 固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和高几何精度。采用FEM结构分析模拟的测试保证了几何运动精度,使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。另外,其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中,实现了高精度。

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产品描述

规格:

型号 LEGEX 574 LEGEX 774 LEGEX 776 LEGEX 9106
测量范围 X 500mm 700mm 700mm 900mm
Y 700mm 700mm 700mm 1000mm
Z 450mm 450mm 600mm 600mm
测量方法 超高精度线性编码器
最大测量速度 200mm/s
最大加速度 980mm/s2
分辨力 0.00001mm
导向系统 各轴均采用气浮轴承
工作台 材料 铸铁*
尺寸 550×750mm 750×750mm 750×750mm 950×1050mm
紧固用螺钉孔 M8x1.25mm (工件固定用)
最大测量高度 701mm 701mm 851mm 851mm
最大负载 250kg 500kg 500kg 800kg
重量 3500kg 5000kg 5100kg 6500kg
空气供给 气压 0.5MPa
消耗量  (正常情况下)120L/min(空气源160L/min以上)

*:也可选择陶瓷涂层。

LEGEX系列主机精度:

 

使用测头 最大容许指示误差
ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)
MPP310Q EO,MPE=(0.28+L/1000)um(温度环境1)
EO,MPE=(0.3+L/1000)um(温度环境2)

LEGEX系列设置温度环境:

 

  温度环境1 温度环境2
温度范围 19-21℃ 18-22℃
温度变化 每小时以内0.5℃
温度梯度 每米1.0℃以内