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Park NX-Hivac
Park NX-Hivac是一种的高真空原子力显微镜，旨在为在高度掺杂的半导体进行精确的失效分析。Park NX-Hivac是一台高真空原子力显微镜，利用Park的招牌技术，并提供可重复且容易实现的高清晰度和低噪声的测量，使其成为提高实验室效率和准确性的好选择。
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产品描述
特点：
◆先进的StepScan自动化扫描和更快的扫描激光校准技术
◆多样品模块
◆Park招牌技术便捷的针尖替换
◆大型真空腔300mm X 420mm X 320mm
◆提供较长观测距离的同轴光学设备
◆用于提高灵敏度的高真空SSRM
规格参数：
| 型号 | Park NX-Hivac | |
| 扫描仪 | XY扫描仪 | 50um*50um(可选100um*100um) |
| Z扫描仪 | 15um | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
| 光学 | 物镜 | 10X 500万像素CCD |
| 电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
| DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
| 样品台 | XY平台行程 | 22mm x 22mm |
| 样品尺寸 | 高达50mmX50mm最多厚20mm | |
| 软件 | SmartScan | Park原子力显微镜操作软件 |
| XEI | 原子显微镜数据分析软件 | |
| HIVAC Manager | 自动真空控制软件 | |
| 高真空 | 真空高 | 通常小于1 X 10-5托 |
| 抽气速率 | 5分钟之内可达到10-5托 | |
| 物理信息 | 真空室（内） | 300mm（长）X420mm（宽）X320mm（高） |