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超高精度的表面和形状测量仪PGI400/800/1200

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超高精度的表面和形状测量仪PGI400/800/1200

品牌
英国Taylor
型号
400/800/1200
自20世纪30年代推出Talysurf 1开始,Taylor Hobson就以其创新性和精益求精的精神在业界保持领先地位。Form Talysurf于1984年推出,这是第一台能同时测量表面结构、形状和轮廓的仪器,并成为精密产品制造商的首选仪器。Form Talysurf PGI继承了该系列的优良传统,可为您提供最佳测量精度和完整性。
编号
没有此类产品
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产品描述

特点:

出色的测量范围和分辨率

◆凭借高达12.5mm的垂直传感器测量范围(标准60mm测针)和 0.8nm的分辨率,使得PGI仪器不但具有满足各种测量形状和轮廓的测量要求,还能提供测量表面粗糙度所需的分辨率。
获得专利的独有标定技术
◆采用专利标定技术,可以一次测量全自动完成全量程系统标定,简单、快速及准确。直观的数值和图形显示,使用户可以确信校准结果和后续测量结果正确无误。

200mm驱动箱,直线度为0.125μm

◆高精度的直线度减少测量系统叠加在工件真实表面造成得仪器误差。经过精密配衍加工基准轴为所有轮廓测量提供基准;

0.125μm高密度横向数据间隔
◆实现零件轮廓的精确再现离不开高密度的数据采集。凭借最大值为 1,600,000个数据点和0.125μm的数据间隔,大型和小型零件均能得到非常精确的测量结果。

低系统噪音 (2nm)

◆低噪音的完整系统提供了此类型仪器无法超越的粗糙度测量功能

450mm机动立柱

◆机动立柱可提供高精密位置控制以及大尺寸工件测量能力。可通过操纵杆手动控制,也可以通过计算机执行全面的系统编程。

技术参数:

水平轴性能 400 800 1200
驱动长度X最大/最小 120毫米/0.1毫米 200毫米/0.1毫米
测量速度 0.1毫米/秒, 0.25毫米/秒,0.5毫米/秒和1毫米/秒
驱动速度 0.1-10毫米/ 秒
X轴数据采样间隔 120毫米长度上0.125微米 200毫米长度上0.125微米
最大数据点 960,000 1,600,000
直线度误差[Pt](X=长度) 0.35微米/120毫米 0.35微米/200毫米 125纳米/200毫米
基准面校正 可选 可选 可选
垂直性能 400 800 1200
标称量程(Z) 4毫米[60毫米测杆] 8毫米[60毫米测杆] 12.5毫米[60毫米测杆]
分辨率(Z) 12.8纳米@4毫米范围 3.2纳米@8毫米范围 0.8纳米@12.5毫米范围
量程与分辨率之比 312,500:1 2,500,000:1 15,625,000:1
测杆长度,针尖尺寸,测量力 臂长60毫米,金刚石测针半径2微米,力度1mN,120毫米arm,0.5毫米半球,力度20mN
Z轴非线性(Z=传感器位移) (0.07+0.03Z[毫米])微米-校正后
Z轴重复性(平面表面,金刚石测针) 0.1微米 0.15微米
Z轴重复性(弯曲表面-金刚石测针) 0.8微米 0.16微米
Z轴重复性(弯曲表面-球形测针) 0.12微米
系统性能 400 800 1200
校正值Pt 0.15微米 0.2微米
人工校准球[精度] 80毫米标称半径校准玻璃标准器[5微米]
系统噪音-Rq 典型值5纳米 典型值3纳米 典型值2纳米
半径测量不确定性 0.1-80毫米=标称值的1到0.005%,80-1000毫米=标称值的0.005到0.1%,1000-2000毫米=标称值的0.1%
倾角测量不确定性 0.5弧分不确定性(+/-35°最大范围)
大小(长x宽x高) 900x880x1750毫米
机动立柱 450毫米垂直移动

 

 

 

 

 

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