opyright © 2017-2019. 上海洛丰精密检测仪器有限公司 All rights reserved.
沪ICP备14000755号-1 网站建设:中企动力 苏州 

产品中心 Product center

白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪

浏览量:

白光干涉仪ZeGageplus 光学轮廓仪

品牌
美国ZYGO
型号
ZeGage plus
ZeGage Plus系列的3D光学表面轮廓仪可以提供强大的多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。所有的测量都无损、快速,并且不需要样品制备。强大的分析软件可以极其精准的描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。
编号
没有此类产品
我要询价
产品描述

系统参数:

原理非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置: 长范围 Z 轴调节

物镜: 1X - 50X 放大:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
视场: 跟所选物镜有
光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强
物镜安装:直接螺纹安装(标配);单物镜楔形座安装(选配);手动或电控 4 位物镜塔台(选配)
辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
测量阵列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
样件观察: Mx 软件集成实时观察
Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离
样品台控制: USB 控制器
安全性: 系统集成紧急制动功能
样品台: 手动,俯仰倾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(标配) 手动型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);电动型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
计算机: i5 级别 PC,23 寸显示器 1080p
软件: ZYGO Mx 软件,Windows7(64 位)
尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm
重量: ZeGage Plus主机:54Kg; 工作台:37Kg
性能:
纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)
表面形貌重复性:<0.15nm
光学分辨率(横向):0.52um (50x 物镜)
空间采样: 0.17um(50x 物镜)
扫描速度: ≤ 73 um/秒
台阶高度重复性:≤0.3%@1σ
台阶精度: ≤ 3%
被测样品特性:
材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
最大尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 标准主机头位置;147 x 100 x 100mm 主机头加高采用局部覆盖放置可以测试更大的样品
反射率:0.05%-100%
环境要求:
温度: 15-30℃  <1.0°C/15 分钟
湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结
隔振: 包含隔振,要求隔离 1-120Hz 振动
振动准则: VC-C 或有更好的推荐
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
上一篇