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NewView9000白光扫描干涉仪
NewView 9000系列的3D光学表面轮廓仪可以提供强大的多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。测量过程都无损、快速，并且不需要样品制备。强大的分析软件可以精准的描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。 使用zygo相干扫描干涉技术，NewView 9000系列轮廓仪可以很容易的测量各种材质表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。
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产品描述
系统参数：
◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪。
◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器。
◆物镜: 1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距离分别有标准/长焦/超长焦详见物镜参数表。
◆物镜座选件: 电动4位塔台可选。
◆视场放大倍数:高质量分立放大倍率镜头：0.5X,1.0X,2.0X。
◆成像放大视场：电动3位系统成像放大0.04-16mm,跟物镜和放大倍率有关，运用图像拼接技术可以得到更大范 围。
◆光源: 特殊设计长寿命白光LED。
◆控制：滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）。
◆测量阵列:1600×1600。
◆样件观察:专用液晶显示屏实时观察。
◆精密聚焦：电控手动和自动聚焦
◆Z 轴驱动（聚焦）:直流无刷微步进电机驱动，100mm行程，0.1um的精度
◆样品台: 电动,俯仰±3°和XY平移（±76mm）
◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL计算机
◆软件: 在Microsoft Windows7下运行的ZYGO Mx软件
◆尺寸（HWD）: 总尺寸：151×73×61cm; newview：75x64x56cm; 防震台：76x61x61cm
◆总重量: 约229Kg; newview：约91Kg
性能：
◆纵向扫描范围：150 um，可扩展到20mm
◆纵向分辨率：＜0.08nm
◆横向分辨率：0.34-16.42um 与所选物镜有关
◆扫描速度： ≥150 um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
◆RMS重复性：＜0.008nm, RMSσ
◆台阶测量：准确度 ≤ 0.8%；重复性≤0.1%@1σ
被测样品特性：
◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
◆最大尺寸（HWD）：89 x 203 x 203mm 或更大
◆反射率：0.05%-100%
环境要求：
◆温度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分钟
◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结
◆隔振：需要隔离 1-120Hz 的振动（VC-C）