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美国ZYGO激光干涉仪VeriFire

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美国ZYGO激光干涉仪VeriFire

品牌
美国ZYGO
型号
VeriFire
菲索型激光干涉仪,具有专利的环形光源伪迹消除抑制技术,是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪,继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。 Zygo最新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
编号
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产品描述

系统:

◆测量功能:精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

◆测量技术:机械相移干涉测量(PSI)

◆校准系统 :快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

◆测量光束直径 :4″(102mm)或6″(152mm)

◆对准视场范围FOV :4″:±3°;6″:±2°;

◆光学中心线 :4.25″(108mm)

◆激光光源:大功率稳频氦-氖激光,IIIa 级

◆波长: 633 nm

◆频率稳定度: < 0.0001 nm

◆相干长度 :>100m

◆成像分辨率 :1000 x 1000 像素

◆帧速 :43Hz

◆数据采集时间 :302ms

◆数据模式: 8位

◆放大 :电控数显放大1-5X

◆偏振 :接近圆偏振(1.2:1或者更好)

◆光曈调焦范围: 4″:±2.5m;6″:±5.5m;

◆计算机和软件 :高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO专利软件MetroproTM X和MetroproTM 9

◆安装构造 :水平卧式或垂直立式

◆附件 :详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463

◆尺寸(长x宽x高): 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

性能参数:

◆RMS重复性: < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重复性:< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差:< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

工作环境:

◆温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

◆温度变化率: <1.0°C/15min

◆湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结

◆隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

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