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白光干涉仪ZeGage 3D 光学轮廓仪

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白光干涉仪ZeGage 3D 光学轮廓仪

品牌
美国ZYGO
型号
ZeGage
ZeGage系列的3D光学表面轮廓仪可以提供强大的多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。所有的测量都无损、快速,并且不需要样品制备。强大的分析软件可以极其精准的描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。
编号
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产品描述

系统参数:

原理 非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置: 长范围 Z 轴调节
物镜: 无限共轭干涉物镜:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表
视场: 跟所选物镜有关
光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强
物镜座: 螺纹物镜座(标准);
选件: 可快速装卸单物镜夹具(可选);电控或手动 4 位物镜塔台(可选)。
辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦
测量阵列: 1024×1024
样件观察: 软件集成交互式实时观察
Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离
样品台控制: USB 控制器,人体工程学设计的拇指控制按钮,可控制速度和聚焦模式切换
安全性: 系统集成紧急制动功能
样品台: 手动,俯仰倾斜±4°; 手动XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
计算机: 高性能DELL计算机, 宽屏1080P LCD,64位,Windows 7系统
软件: ZeMapsTM
尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm
重量: ZeGage 主机:54Kg; 工作台:37Kg
性能:
纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)
表面形貌重复性:<3nm(根据 ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)
光学分辨率(横向):0.52um ~9.50um,与所选物镜有关
扫描速度: ≤ 23 um/秒
最大数据点: 1,048,576
台阶测量: 准确度 ≤ 1%; 重复性≤ 0.1% @ 1σ
被测样品特性:
材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
反射率:1-100%
环境要求:
温度: 15-30℃
温度变化率: <1.0°C/15分钟
湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结
隔振: 不需要
振动准则: VC-C 或有更好的推荐
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暂未实现,敬请期待
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