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产品描述
规格：
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CV-2100M4 |
CV-2100N4 |
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测量范围 |
X轴 |
100mm |
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Z1轴 (检出器) |
50mm |
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上下移动量 (Z轴立柱) |
350mm |
— |
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X轴倾角范围 |
±45o |
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分辨力 |
X轴 |
0.1μm |
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Z1轴 |
0.1μm |
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驱动方式 |
X轴 |
电动 (0 - 20mm/s) |
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上下移动 (Z轴立柱) |
手动 (快速上下动、微动) |
— |
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测量速度 |
0.02~5mm/s |
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直线精度 (X轴水平位置时) |
2.5μm/100mm |
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指示精度 |
X轴 |
± (2.5+0.02L) μm L：测量长度 (mm) |
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(20oC) |
Z1轴 |
±(2.5+|0.1H|) μm H=为水平位置上的测量高度±25mm以内 |
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测量方向 |
向前/向后 |
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测量面方向 |
向下 |
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测力 |
30±10mN (3gf) |
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测针跟踪角度(以标准配件测针为例) |
向上77o、向下87o (根据表面粗糙度而定) |
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尺寸 (幅度×深度×高度) |
745×450×885mm |
651×143×138.5mm |
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重量 |
145.8 kg |
5.8 kg |
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