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轮廓形状测量仪CV-3200/4500

浏览量:

轮廓形状测量仪CV-3200/4500

品牌
三丰
型号
CV-3200/4500
完善的高精度轮廓测量仪
CV-3200/4500 系列是在Z1 轴(检出器) 上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹,以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比,新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm 同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件,单此接触就能完成测臂的装卸,提高了易用性。
专为CV-4500 系列增加了以下两大特性:
(1) 装配双面
编号
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产品描述

规格:

货号

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

 

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

 

测量范围

100mm

200mm

 

Z1 (检出器)

60mm (水平位置±30mm)

 

Z2  (立柱移动范围

300mm

500mm

300mm

500mm

 

Z1 (检出器)

光栅尺类型

弧形

 

分辨力

CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm

 

测针上下运作

弧形移动

 

测量方向

向前向后

 

测针方向

CV-3200 系列垂直方向 (向上向下单独测量)

 

CV-4500 系列垂直方向 (向上向下根据配重调整)

 

测力

CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量)

 

CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换)

 

跟踪角度

向上: 77o向下: 83o(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针*1)

 

驱动部

长度基准

激光全息光栅尺

 

Z2  (立柱)

ABS 光栅尺

 

分辨力

0.05 μm

 

Z2  (立柱)

1 μm

 

驱动速度

0 - 80mm/s 外加手动

 

Z2  (立柱)

0 - 30mm/s 外加手动

 

测量速度

0.02 - 5mm/s

 

直线度*2

0.8μm/100mm

2μm/200mm

 

倾角范围

±45o

 

精度(20oC)

CV-3200 系列

±(0.8+0.01L)μm    L = 驱动长度 (mm)

±(0.8+0.02L)μm    L = 驱动长度 (mm)

 

宽范围:  1.8μm/100mm

宽范围:  4.8μm/200mm

 

窄范围:  1.05μm/25mm

窄范围:  1.3μm/25mm

 

Z1 (检出器)

±(1.6+|2H|/100)μm     H = 水平位置上的测量高度 (mm)

 

CV-4500 系列

±(0.8+0.01L)μm    L = 驱动长度 (mm)

±(0.8+0.02L)μm    L = 驱动长度 (mm)

 

宽范围:  1.8μm/100mm

宽范围:  4.8μm/200mm

 

窄范围:  1.05μm/25mm

窄范围:  1.3μm/25mm

 

Z1 (检出器)

±(0.8+|2H|/100)μm     H = 水平位置上的测量高度 (mm)

 

外形尺寸 (W×D×H)

主机*3

756×482x966mm

756×482x1166mm

1156×482x1176mm

766×482x966mm

766×482x1166mm

1166×482x1176mm

 
 

重量

主机

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg

 
                           

 

*1: SPH-71 (No.354884)

*2: X 轴水平位置时

*3: 主机材料为花岗岩

注: 虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。

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