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产品描述
规格：
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货号 |
CS-5000CNC |
CS-H5000CNC |
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X1 轴 |
测量范围 |
200mm |
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分辨力 |
0.00625μm |
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长度基准 |
激光全息测微计 |
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驱动速度 |
CNC型 |
最大40mm/s |
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操纵杆 |
0 - 40mm/s |
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测量速度 |
0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓) |
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测量方向 |
向前/ 向后 |
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直线度 |
(使用标准测针) |
(0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) |
(0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm) |
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(使用二倍长型测针) |
(0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) |
(0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) |
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精度 (20oC) |
±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm) |
±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm) |
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Z1 轴 (检出器) |
测量范围 |
(使用标准测针) |
12mm |
12μm |
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(使用二倍长型测针) |
24mm |
24μm |
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分辨力 |
(使用标准测针) |
0.004 μm |
0.001 μm |
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(使用二倍长型测针) |
0.008 μm |
0.002 μm |
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测针针尖垂直运动 |
弧形移动 |
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长度基准 |
激光全息测微计 |
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精度 (20oC) |
(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) |
±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) |
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测力 |
(使用标准测针) |
4mN (固定) |
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(使用二倍长型测针) |
0.75mN(固定) |
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跟踪角度 |
向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度) |
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测针针尖形状 |
标准测针 |
针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 |
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标准球头测针 |
球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针 |
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2倍测针 |
针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 |
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2倍测针 |
- |
针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 2倍球头测针 |
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2倍球头测针 |
球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 |
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测针方向 |
向下 |
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Z2 轴 (立柱) |
行程范围 |
Z2 轴 (立柱, S 型) |
300mm |
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Z2 轴 (立柱, H 型) |
500mm- |
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分辨力 |
0.05μm |
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长度基准 |
反射型线性编码器 |
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驱动速度 |
CNC型 |
最大200mm/s |
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操纵杆 |
0 - 50mm/s |
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基座尺寸 (W×D) |
750×600mm |
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基座材料 |
花岗岩 |
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注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的稳定性是值得信赖的。