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表面粗糙度·轮廓测量一体机CS-5000CNC

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表面粗糙度·轮廓测量一体机CS-5000CNC

品牌
三丰
型号
CS-5000/H5000 CNC
高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
Z1轴检出器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
Z1轴检出器集成了防碰撞安
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产品描述

规格:

货号

CS-5000CNC 

CS-H5000CNC

X1

测量范围

200mm 

分辨力

0.00625μm 

长度基准

激光全息测微计

驱动速度

CNC

最大40mm/s 

操纵杆

0 - 40mm/s

测量速度

 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)

测量方向

向前/ 向后 

直线度

(使用标准测针

(0.1+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

(0.05+0.0003L)μm    L: 驱动长度 (mm)

(使用二倍长型测针)

(0.2+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm)

(0.1+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

精度 (20oC)

±(0.3+0.002L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

±(0.16+0.001L)μm    L: 驱动长度 (mm)

Z1 (检出器)

测量范围

(使用标准测针

12mm

12μm

(使用二倍长型测针

24mm

24μm

分辨力

(使用标准测针

0.004 μm

0.001 μm

(使用二倍长型测针)

0.008 μm

0.002 μm

测针针尖垂直运动

 弧形移动

长度基准 

激光全息测微计

精度 (20oC)

(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm  H: 测量高度 (mm) 

±(0.07+|0.02H|)μm  H: 测量高度 (mm)

测力

(使用标准测针

4mN (固定)

(使用二倍长型测针)

 0.75mN(固定)

跟踪角度

向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度)

测针针尖形状

标准测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 

标准球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针

 2倍测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 

 2倍测针

-

 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 2倍球头测针

2倍球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 

测针方向

 向下

Z2 (立柱)

行程范围

Z2 (立柱, S )

300mm

Z2 (立柱, H )

500mm-

分辨力

0.05μm

长度基准

反射型线性编码器

驱动速度

CNC

 最大200mm/s 

 操纵杆

 0 - 50mm/s 

基座尺寸 (W×D) 

750×600mm

基座材料

花岗岩 

注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。

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