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相关应用
半导体制造 生物医学原件 微电子 液晶显示器
• 光刻胶 • 聚合物/聚对二甲苯 • 光刻胶 • 盒厚
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度 • 硅膜 • 聚酰亚胺
• 硅或其他半导体膜层 • 植入药物涂层 • 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 • 导电透明膜
技术参数
| 型号 | F40-UV | F40-UVX | F40 | F40-EXR | F40-NIR | F40-XT |
| 2X物镜测量范围*: | / | / | 20nm-50um | 20nm-150um | 100nm-150um | 0.2unm-350um |
| 5X物镜测量范围*: | / | / | 20nm-40um | 20nm-120um | 100nm-120um | 0.2unm-250um |
| 10X物镜测量范围*4: | 4nm-35um | 4nm-115um | 20nm-45um | 20nm-115um | 100nm-115um | 0.2unm-140um |
| 15X物镜测量范围*4. | 4nm-30um | 4nm-100um | 20nm-40um | 20nm-100um | 100nm-100um | 0.2unm-120um |
| 50X物镜测量范围*: | / | / | 20nm-2um | 20nm-4um | 100nm-4um | 0.2unm-4um |
| 100X物镜测量范围*: | / | / | 20nm-1.5um | 20nm-3um | 40nm-3um | 0.2unm-3um |
| 测量n&k最小厚度*: | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm | 2um |
| 准确度*:取较大者 | 1nm或0.2% | 1nm或0.2% | 2nm或0.2% | 2nm或0.2% | 3nm或0.4% | 5nm或0.4% |
| 精度*2: | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm | 1nm |
| 稳定性*3: | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.12nm | 1nm |
| 波长范围： | 190-1100nm | 190-1700nm | 400-850nm | 400-1700nm | 950-1700nm | 1440-1690nm |
| 光源： | 内部显微镜光源 | |||||
| 电源： | 100-240 VAC,50-60 Hz,20 W | |||||
| 操作系统: | PC:Windows XP (SP2)- Latest Windows (64-bit) | |||||
| Mac:OS X Lion -Latest Mac OS running Parallels | ||||||
| 镜头光斑尺寸 | ||||
| 光斑尺寸 | 500um孔径 | 250um孔径 | 100um孔径 | 50um孔径 |
| 5X物镜 | 100um | 50um | 20um | 10um |
| 10X物镜 | 50um | 25um | 10um | 5um |
| 15X物镜 | 33um | 17um | 7um | 3.5um |
| 50X物镜 | 10um | 5um | 2um | 1um |
| 100X物镜 | 5um | 2.5um | 1um | 0.5um |
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