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相关应用
半导体制造 液晶显示器 光学镀膜 微电子系统
• 光刻胶 • 间隙厚度 • 硬涂层 • 光刻胶
• 氧化物/氮化层/绝缘体上硅 • 聚酰亚胺 • 抗反射层 • 硅系膜状物
• 晶片背面研磨 • ITO透明导电膜
| 技术参数 | |||||||
| 型号 | F50-UV | F50-UVX | F50 | F50-EXR | F50-NIR | F50-XT | F50-s1310 |
| 厚度测量范围*: | 5nm-40um | 5nm-250um | 20nm-70um | 20nm-250um | 100nm-250um | 0.2um-450um | 7um-2mm |
| 测量n&k最小厚度*: | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm | 2um | 100um |
| 波长范围： | 190-1100nm | 190-1700nm | 380-1050nm | 380-1700nm | 950-1700nm | 1440-1690nm | 1280-1340nm |
| 准确度*:取较大者 | 1nm或0.2% | 1nm或0.2% | 2nm或0.2% | 2nm或0.2% | 3nm或0.4% | 4nm或0.4% | 50nm或0.4% |
| 精度： | 0.02nm¹ | 0.1nm¹ | 1nm¹ | 5nm² | |||
| 稳定性: | 0.05nm³ | 0.12nm³ | 1nm³ | 5nm² | |||
| 光斑大小： | 标准1.5 mm,可选配至150μm | 600um | 10um | ||||
| 光源及寿命： | 氘灯：2000 Hours | 钨卤素灯:1200 Hours | SLED>10年 | ||||
| 钨卤素灯:1200 Hours | |||||||
| 电源： | 100-240 VAC,50-60 Hz,100 Watts | ||||||
| 尺寸： | 14W x 19D x 11H(in)[35.5W x 48.3D x 28H(cm)] | ||||||
| 重量： | 35Ibs(16kg) | ||||||
| 操作系统: | PC:Windows XP (SP2)- Latest Windows (64-bit) | ||||||
| Mac:OS X Lion -Latest Mac OS running Parallels | |||||||
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