F3-sX薄膜厚度测量仪-上海洛丰精密检测仪器

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F3-sX薄膜厚度测量仪

F3-sX家族利用光谱反射原理，可以测试众多半导体及电解层的厚度，可测最大厚度达3毫米。此类厚膜，相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀，F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且仅在几分之一秒内完成。

所属分类：

产品描述

• Si晶圆厚度测试

• 保形涂层

• IC 芯片失效分析

• 厚光刻胶（比如SU-8光刻胶）

• 桌面式薄膜厚度测量的全球领导者

• 24小时电话，E-mail和在线支持

• 所有系统皆使用直观的标准分析软件

• 嵌入式在线诊断方式

• 免费离线分析软件

• 精细的历史数据功能，帮助用户有效地

• 存储，重现与绘制测试结果

技术参数
型号	F3-S980	F3-S1310	F3-S1550	VIS延伸
波长范围：	960-1000nm	1280-1340nm	1520-1580nm	400-940nm
光源:	200K小时 MTBF SLED	200K小时 MTBF SLED	200K小时 MTBF SLED	40K小时 MTBF SLED
SLED输出功率：	0.1mw	0.1mw	0.1mw	/
厚度测量范围，n=1.5:	10um-1mm	15um-2mm	25um-3mm	20nm-65um
厚度测量范围，n=3.5(Si):	4um-350um	7um-1mm	10um-1.3mm	10nm-20um
准确度*:取较大者	0.4%or50nm	0.4%or50nm	0.4%or50nm	0.2%or2nm
精确度	5nm	5nm	5nm	0.02nm
稳定性	5nm	5nm	5nm	0.05nm
光斑尺寸	10um	10um	10um	8um
标准工作距离	53mm	53mm	53mm	53mm
工作距离公差，100um厚度	4mm	4mm	4mm	/
工作距离公差，500um厚度	1.2mm	1.2mm	1.2mm	/
操作系统:	PC:Windows XP (SP2)- Latest Windows (64-bit)
操作系统:	Mac:OS X Lion -Latest Mac OS running Parallels

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